（1）气相清洗槽由槽体，加热器，冷凝器，通风装置，喷射清洗装置，工件传送装置等组成，见图58-3。

气相清洗可以分别与浸洗或喷洗组合使用，组成气一浸组合清洗装置或一喷组合清洗装置。

（2）超声波清洗装置，超声波清洗装置的三大组成部分分别为超声波发生器、换能器和超声波清洗槽。图58-4为微型工件半自动超声波清洗机示意图。

（3）将多个超声波清洗槽组合，可以实现多步清洗，工件经多步清洗后可以达到很高的清洁度。工件在各个超声波清洗槽内实现自动转送，形成超声波多步清洗生产线。