精密减速机/伺服行星减速机在高速机械往复运动中做到精确定位的关键在于尽量减少通过运动产生的角偏差。定位精度取决于两个值，一个是于加载有关的偏转角，涉及到回程间隙和扭转刚度；另一个是于运动控制有关的偏转角，涉及到同步偏差问题。
　　回程间隙齿隙
　　将输出端固定，输入端顺时针和逆时针方向旋转，使输入端产生额定扭矩+-2%扭矩时，减速机输入端有一个微小的角位移，此角位移就是回程间隙.单位是"分",就是一度的六十分之一.也有人称之为背隙。
　　额定输出扭矩
　　指减速机连续长时间工作时可以加载的力矩，条件应满足负载均匀，安全系数大于1.
　　加速扭矩
　　精密减速机/伺服行星减速机指工作周期每小时少于1000次时允许短时间加载.不能超过10000次。
　　精密行星齿轮减速机的优点
　　1、结构尺寸小，体积轻巧
　　2、传动比范围大，减速范围广
　　3、传动效率高，一般效率在95%以上
　　4、行星减速机内部齿轮的加工工艺更加完美，精度很高，一般的间隙都能保证在10弧分以下，而且内部结构很紧凑，因而耐冲击性很强
　　5、输出扭矩高
　　6、运转更平稳顺畅、在使用中噪音一般都在65分贝以下，噪音低